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新松真空机械手ARCHER 系列
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真空机械手ARCHER 系列
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沈阳新松机器人自动化股份有限公司
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产品介绍
品牌名称 SINSUN

简介

Introduction

机械手本体采用多电机同轴结构,动作更加灵活稳定;高重复定位精度,并具备AWC自动纠偏功能,保证传片精度;耐真空性,可胜任高真空环境下晶圆传片需求。直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。IO模块具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。在此基础上,Archer Q41采用双手蝴蝶手形式,四手指结构,双取双放,大大提高了晶圆传片效率。Archer Q41/R41可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。


参数

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简介

Introduction

机械手本体采用多电机同轴结构,动作更加灵活稳定;高重复定位精度,并具备AWC自动纠偏功能,保证传片精度;耐真空性,可胜任高真空环境下晶圆传片需求。直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。IO模块具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。在此基础上,Archer Q41采用双手蝴蝶手形式,四手指结构,双取双放,大大提高了晶圆传片效率。Archer Q41/R41可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。


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