简介

Introduction

机械手本体采用多电机同轴结构，动作更加灵活稳定；高重复定位精度，并具备AWC自动纠偏功能，保证传片精度；耐真空性，可胜任高真空环境下晶圆传片需求。直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。IO模块具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能，方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。在此基础上，Archer Q41采用双手蝴蝶手形式，四手指结构，双取双放，大大提高了晶圆传片效率。Archer Q41/R41可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。

参数

Parameter

简介

Introduction

机械手本体采用多电机同轴结构，动作更加灵活稳定；高重复定位精度，并具备AWC自动纠偏功能，保证传片精度；耐真空性，可胜任高真空环境下晶圆传片需求。直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。IO模块具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁、传感器检测等功能。输入信号支持硬件中断功能，方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。在此基础上，Archer Q41采用双手蝴蝶手形式，四手指结构，双取双放，大大提高了晶圆传片效率。Archer Q41/R41可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。

参数

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